探針測(cè)量是通過(guò)監(jiān)測(cè)精密探針劃過(guò)薄膜表面的偏移測(cè)量薄膜厚度和粗糙度，常常是不透明薄膜如金屬薄膜的其中一種測(cè)量方法。

KOSAKA 臺(tái)階儀（探針臺(tái)）具有以下特點(diǎn)：

二維／三維表面粗度解析及臺(tái)階測(cè)定，可實(shí)現(xiàn)高精度、高辨識(shí)能力及*的安全性。

用于平板顯示器、硅片、硬盤(pán)等的微細(xì)形狀臺(tái)階／粗度測(cè)定另外也可利用微小測(cè)定力來(lái)對(duì)應(yīng)軟質(zhì)樣品表面測(cè)定。

具備載物臺(tái)旋轉(zhuǎn)功能，便于定位下針位置。

高精度 • 高穩(wěn)定性 • 功能超群。

FPD 基板 • 硅片 • 硬盤(pán)等

微細(xì)形狀、段差、粗糙度等測(cè)量。

KOSAKA ET4000系列臺(tái)階儀提供多型號(hào)選擇，滿足從研發(fā)到量產(chǎn)的多種測(cè)量需求：ET4000M適用于高精度基礎(chǔ)測(cè)量，ET4000A實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)操作，ET4000AK支持二維/三維自動(dòng)掃描與表面形貌重建，ET4000L可應(yīng)對(duì)大尺寸FPD基板，ET4300則專為12英寸晶圓全行程連續(xù)測(cè)定設(shè)計(jì)。
全系列垂直分辨率可達(dá)≤0.1 nm，臺(tái)階高度重復(fù)性優(yōu)于5 Å，探針力可低至μN級(jí)，適用于光刻膠、柔性薄膜等軟質(zhì)材料。水平掃描范圍與載物臺(tái)尺寸根據(jù)型號(hào)靈活配置，支持自動(dòng)多點(diǎn)測(cè)量、Mapping輸出及SEMI標(biāo)準(zhǔn)兼容的分析軟件。
在服務(wù)方面，我們提供探針耗材供應(yīng)、定期校準(zhǔn)、技術(shù)培訓(xùn)及快速售后響應(yīng)，并可依據(jù)您的樣品與應(yīng)用場(chǎng)景，提供詳細(xì)技術(shù)規(guī)格書(shū)、樣品實(shí)測(cè)或在線演示支持，歡迎咨詢了解。